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| 品牌Brooks Instrument | 有效期至長期有效 | 最后更新2022-08-08 16:20 |
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Brooks Instrument質量流量控制器5851EMH
Brooks Instrument質量流量控制器5851EMH
Brooks Instrument精密流體測量和控制技術的制造商，產品主要應用在在重工業。在石油和天然氣精煉中?；瘜W和石化研究。制藥和生物制藥生產。太陽能電池、LED、薄膜、光纖和半導體制造。
Brooks Instrument 5851EMH質量流量控制器用于高溫應用的超純性能。
Brooks Instrument 5851EMH質量流量控制器技術規格：
流量范圍（滿量程）：10 - 100 slm（N 2等效）
準確性：FS ±1%
重復性：< ±0.25% SP
響應時間：3 秒至 SP 的 2% 以內（根據 SEMI E17-91）
模擬通信：：0-5 伏直流電
Brooks Instrument流量計常見型號：
SLA5853S3AAB2C2A1
SLAMF50S1BAF1G2A2
SLAMF50S1BAB1G2A2
SLAMF50S1BDD1G2A2
1350GAH3ABJT1AAA
SLA5850SB1AB1B2A1
Brooks Instrument質量流量控制器5851EMH
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