IBS光學干涉儀ARINNA AR5 應用印刷電子生產線

 

 

 ARINNA能夠測量離散的步高和表面質量，垂直分辨率為 <2nm。巨型像素攝像頭可在 1 秒內捕獲表面掃描?？捎糜谠诰€缺陷檢測和特征化、光學表面和結構測量、3D表面拓撲測量、MEMS/NEMS 檢測等。

 

 

AR5 系統已集成到生產用于汽車應用的印刷電子的生產線中。根據公差值評估 100 納米到 1 微米深度的激光劃線，以控制激光工藝。

 

技術參數

 

Z 范圍 （μm） 14

每次捕獲 FOV （毫米） 1，1 x 1，1

Z 分辨率 （μm） 0,002

結果時間（秒） 1,5

每次捕獲 FOV （毫米） 0，55 x 0，55

Z 分辨率 （μm） 0,002

工作距離（毫米） 34

分辨率為 15kHz 有色 0，007%，有色 0，009%

零/偏移調整 是的

典型的熱漂移 0，01% F.S.*/C

LED 范圍指示器 是的

其他功能 帶寬：250 赫茲、1 kHz、10 kHz、15 kHz（用戶可選）

 

 

 ARINNA 是一種高速干涉儀，它結合了納米級表面測量的優點、堅固性和小巧的占地面積，使其能夠在您需要的地方進行在線測量。雖然干涉儀帶來了速度、精度和無損測量的優勢，但階梯結構和嘈雜的環境通常是它們的局限性。ARINNA 并非如此。

ARINNA 采用的波長掃描技術避免了在測量頭中進行機械掃描的需要，正如一些干涉測量系統所采用的那樣。這克服了對測量速度和系統集成（例如頭部 360 度定向的能力）的相關限制。對于在線使用，ARINNA 的設計中集成了獲得專利的振動補償技術。這種技術避免了對大型和/或復雜的隔離系統的需要；有時是高精度光學測量系統在現場應用的限制因素。