Physik Instrumente線性平臺 H-811.I2系列

應用領域

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六腳架支持工業機器人科學儀器

半導體技術

顯微鏡檢查

硅光子學

醫療技術

材料研究

機械工業

自動化

梁線儀器

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主動對準

線性平臺

PI提供了廣泛的電動線性平臺產品組合。種類繁多的應用還意味著線性軸的技術可能性也非常廣泛。行程范圍從幾毫米到幾米，精度等級從納米到微米：PI使驅動器，導向器或傳感器技術適應應用條件。

有許多不同型號的真空版本。多軸組合可借助轉接器支架實現，或者通過匹配的Z平臺和旋轉平臺更加緊湊。

運動控制器可作為臺式設備，機架版本或緊湊型OEM設備使用。所有這些因素的共同因素是通過通用命令集（GCS）進行命令，該命令簡化了控制和編程，并且與驅動器類型無關。

可提供具有ACS運動控制器的多軸工業應用中的多軸系統。這樣可確保通過Fieldbus接口輕松集成，以實現精密和以運動為中心的工業應用。

 

1.U-523PILine®線性平臺

帶有超聲波壓電馬達的緊湊型線性平臺

精密級線性定位平臺

PILine®位移臺特別適合需要快速精確定位的應用。關閉時，自鎖驅動器會以機械方式穩定工作臺的位置。因此，能量消耗和熱量產生顯著減少。這些特性使電池供電或對熱敏感的低占空比應用受益。軸的位置由編碼器測量，光學參考開關可實現可靠的可重復運動。壓電驅動原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。

使用增量線性編碼器進行高精度位置測量

非接觸式光學編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械間隙或彈性變形對測量沒有影響。

PILine®超聲波壓電馬達

PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動器，該壓電致動器通過一個耦合元件預加載在可移動的導向流道上。壓電陶瓷執行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產生超聲振蕩。致動器的變形導致聯接元件相對于轉輪周期性的對角運動。每個周期產生的進料為幾納米。高頻導致高速。將壓電陶瓷執行器預緊抵在轉輪上，可確保驅動器在靜止和關閉時自動鎖定。

應用領域

顯微操作，自動化，生物技術，樣品處理，樣品定位，空間有限的應用，10 -6 hPa的真空應用（可選）。

 

2.精度最高的N-565線性平臺

具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進驅動器

NEXACT®參考級線性平臺

帶有NEXACT®PiezoWalk®驅動器的線性平臺可在長行程范圍內在納米范圍內進行高精度定位。它們配備有直接測量的線性編碼器和交叉滾子軸承，可實現最高的精度。

使用PIOne線性編碼器進行直接位置測量

PI開發了高分辨率的PIOne編碼器，并通過對測量值進行相應的處理，使位置分辨率大大小于1納米。另外，由于信號周期短和信號質量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1％。PIOne編碼器在評估參考信號時支持方向感測。

PiezoWalk®技術：高分辨率和低磨損

PiezoWalk®技術結合了壓電執行器和壓電馬達的技術優勢。PiezoWalk®行走驅動器不僅提供亞納米級分辨率，高作用力和高剛度，而且理論上允許無限的行駛范圍。與其他壓電驅動原理相反，PiezoWalk®行走驅動器不受滑動摩擦的影響。它們基于沿著滑道步進的多個壓電執行器的靜摩擦接觸。靜止時，PiezoWalk®行走驅動器是自鎖的，不消耗能量，并且不發熱。

應用領域

樣品處理，樣品定位，具有高精度和穩定性的光學或機械組件，半導體行業的精密機械，顯微操作，顯微鏡，自動化，在狹窄空間中的應用，在非磁性環境中的應用。

 

3.L-812高負載線性平臺

步進或伺服電機•驅動螺桿•性價比高

強大的線性平臺，用于要求苛刻的工業應用

精密滾珠絲杠，高性能步進或同步伺服電機，重型循環滾珠軸承以及精密旋轉編碼器可在高負載下連續可靠地運行?？蛇x的抱閘允許用作Z軸。滾珠絲杠可以在不拆卸的情況下從外部進行補充潤滑，以確保高可靠性和長壽命。

開拓設計

L-812系列的循環球軸承導軌設計用于高負載能力和動態性能。電機的高分辨率可改善跟蹤性能，減小跟蹤誤差并縮短建立時間。

選項

步進或同步伺服電機

抱閘

旋轉編碼器，增量式或絕對式

折疊式傳動系統可減少總長度

同步伺服電機

這些電動機在較大的轉速范圍內具有較高的定位精度和較高的過載能力。高扭矩和低慣量確保了驅動器的高動態。這些電機的使用壽命長，性能高且堅固耐用，可在工業自動化應用中獲得出色的效果。

步進電機

強大且低振動的2相步進電機即使在沒有位置控制的情況下也可以實現精確定位。

應用領域

電子產品生產：微裝配。傳感器/攝像頭的位置。

激光材料加工：激光微加工。

工業噴墨印刷。矩陣板和印刷電路板的生產。

測試與檢查。

醫療設備制造：氣密焊接?；驅嶒炇业臋C器人系統。

 

空氣軸承和位移臺

空氣軸承臺用于需要無振動運動，速度需要高度恒定且要求最佳角度重復性的場合。

空氣軸承避免了摩擦，磨損和反沖效應。PIglide線性，旋轉和球面軸承是精密組件，可以集成和電動化用于OEM，工業和研究市場。

 

1.A-142 PIglide音圈線性平臺，帶空氣軸承

   高性能•兼容無塵室•垂直安裝選件

產品總覽

高性能緊湊型音圈線性平臺，帶有空氣軸承導軌。免維護，無限壽命，非常適合具有高占空比和嚴格體積限制的高動態應用。

集成的平衡選項可實現垂直方向的操作。

配件和選件

PIglide過濾器和空氣制備套件

垂直安裝的氣動平衡

應用領域

線性位移臺非常適合高精度應用，例如計量學，光子學對準系統，光學器件定位和掃描。非接觸式設計是潔凈室應用的理想選擇。電纜未移動。

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2.A-110 PIglide LC線性平臺，帶空氣軸承

廉價的高性能納米定位臺

產品總覽

PIglide定位系統具有磁性直線電機，磁性預加載的空氣軸承和光學線性編碼器：非接觸和無摩擦運動，可提供最高的準確性和可靠性

應用領域

PIglide定位系統非常適合許多高精度應用，例如半導體或平板顯示器制造中的計量，光子學和精密掃描。

由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。

配件和選件

編碼器

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸和多軸運動控制器

XY設置和個別配置

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統

 

3.A-141 PIglide MB微型線性平臺，帶空氣軸承

高性能，無塵室兼容，可定制 

產品總覽

帶有空氣軸承的PIglide MB線性位移臺配有伺服線性電機驅動器，該驅動器帶有預裝的空氣軸承和集成的光學線性編碼器。此階段可提供微型格式的超高精度。非接觸組件的組合形成了一個無摩擦運動平臺，該平臺可提供最高的性能，質量和使用壽命。

應用領域

該載物臺非常適合許多高精度應用，例如計量，光子對準，光學定位和掃描。非接觸式設計也是潔凈室應用的理想選擇。電纜未移動?？諝廨S承模塊提供鎖定設計，以實現最高的位置穩定性。

配件和選件

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸和多軸運動控制器

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統

 

旋轉臺

對旋轉運動的要求顯示出范圍很廣的各種尺寸，負載能力和定位精度。PI提供具有各種電動和導向選項的平臺：空氣軸承，扭矩馬達驅動，蝸輪蝸桿耦合電動，小型壓電馬達平臺以及帶有正交傾斜安裝選項的專用測角儀平臺。它們都可以通過相應的線性，垂直和XY平臺安裝到多軸組合上。 

 

1.A-68x PIglide RLA旋轉平臺，帶空氣軸承，大孔徑

無摩擦，電動

產品總覽

PIglide RLA系列的直接驅動平面旋轉平臺設計為具有最高的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺具有出色的行程精度，平坦度和擺動性能。

絕對值編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。

應用領域

斷層掃描，束線系統，晶圓計量，晶圓檢查，測量技術，檢查系統，校準，掃描。

由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。

三相轉矩電機

無刷

低齒槽轉矩

配件和選件

增量或絕對編碼器

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸或多軸運動控制器和伺服驅動器

多軸/自定義設置

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統

 

2.A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉平臺

無摩擦，電動

產品總覽

PIglide RL系列的直接驅動式薄型旋轉位移臺采用薄型設計，可實現最高的精度?？梢越M合使用各種選項，以創建理想的解決方案，以實現點對點索引或恒速掃描。RL位移臺提供卓越的行程精度，平坦度和擺動性能。

絕對值編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。

應用領域

光學對準，晶圓檢查，晶圓對準，測量技術，檢查系統，校準，掃描。

由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。

三相轉矩電機

無刷

無槽

低齒槽轉矩

配件和選件

增量或絕對編碼器

真空饋通

在靜止狀態下通過電磁預載自鎖

根據要求清除光圈

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸或多軸運動控制器和伺服驅動器

多軸/自定義設置

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統

常用型號