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    德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

        

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    品牌mlase 有效期至長期有效 最后更新2023-02-27 16:20
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    德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

    德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

     

    MLase MLI 系列由具有直接波長的準分子激光器組成,適用于工業應用。當然,我們可以調整我們的基本設備以滿足您的個性化需求。

    MLase 的現代緊湊型 MLI 準分子激光器是波長為 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的脈沖重復頻率。

    MLase是市場上使用壽命最長、可靠性最高、運營成本低的獨立設備。它們均勻的鋼型材和能量穩定性使它們非常適合要求苛刻的應用。

    MLase的LC準分子激光系統還能夠進行主動水冷卻(使用生活用水或外部熱交換器;無需純凈水),以實現穩定的連續運行。

     

    ?

     

    常用型號:

    MLI-200

    MLI-500

    MLI-1000

    參數介紹:

    參數

    ArF

    ArF

    ArF

    KrF

    KrF

    KrF

    波長(納米)

    193

    193

    193

    248

    248

    248

    脈沖重復頻率(赫茲)

    200

    500

    1000

    200

    500

    1000

    穩定的脈沖能量 (mJ)

    6

    6

    6

    10

    10

    10

    穩定平均功率 (W)

    1,2

    3,0

    6,0

    2,0

    5,0

    10

    脈沖穩定性(標準偏差%)

    2

    2

    2

    2

    2

    2

    光束寬度(FWHM,VxHmm)

    6×3

    6×3

    6×3

    6×3

    6×3

    6×3

    光束發散(FWHM,VxHmm)

    2×1

    2×1

    2×1

    2×1

    2×1

    2×1

    脈沖長度

    5-10

    5-10

    5-10

    5-15

    5-15

    5-15

    張曼麗
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    德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

     

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