Brooks Instrument高溫質量流量控制器5850EMH系列

Brooks Instrument高溫質量流量控制器5850EMH系列

 

    Brooks Instrument精密流體測量和控制技術的制造商，產品主要應用在在重工業。在石油和天然氣精煉中?；瘜W和石化研究。制藥和生物制藥生產。太陽能電池、LED、薄膜、光纖和半導體制造。

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質量流量控制器說明：

   Brooks Instrument 的 5850EMH系列高溫金屬密封質量流量控制器在高溫氣體測量和控制方面提供性能，將金屬密封的泄漏完整性與各種選項相結合，從而實現應用靈活性。     Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質量流量控制器的核心是高度穩定的傳感器，可提供與流量成線性關系的電輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的，無需自動歸零電路。

 

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質量流量控制器特征：

高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）

寬流量范圍（0.003 – 100 slpm）

高純度 VAR 316L 不銹鋼

無顆粒物

氦泄漏檢查端口

常閉閥（常開閥可選）

電動閥超控

低指令流截止

TTL兼容“閥門關閉”功能

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質量流量控制器優勢：

高達 100 lpm（N 2等效）的高流量能力

全金屬流路提高了氣體純度并減少了泄漏

通過僅模擬輸入/輸出輕松安裝和維修

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質量流量控制器應用

光纖制造 – MCVD、OVD、AVD

水蒸氣流量控制 

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質量流量控制器應用規格：

流量范圍（滿量程）：3 sccm - 30 slm（當量 N 2）  

重復性：< ±0.25% SP 

響應時間：3 秒至 SP 的 2% 以內（根據 SEMI E17-91）

模擬通信：：0-5 伏直流電

流量范圍（滿量程）：100 slm（N 2等效）

準確性：FS 的 1%

線性度：包括在準確性中。

密封材料：金屬

接液材料：316L、316L VAR 和高合金鐵 SS

溫度：105攝氏度_

差壓范圍：50 - 350 kPa (7 - 50 psid)

壓力：1 兆帕（145 磅/平方英寸）

泄漏完整性：1x10 -10 atm cc/sec He (1x10 -11 Pa m 3 /sec)

電氣連接：15 針“D”連接器

電源/消耗：±15 Vdc @ 350 mA 

 

Brooks Instrument流量計常見型號：

Brooks Instrument SLA5853S3AAB2C2A1

Brooks Instrument SLAMF50S1BAF1G2A2

Brooks Instrument SLAMF50S1BAB1G2A2

Brooks Instrument SLAMF50S1BDD1G2A2

Brooks Instrument 1350GAH3ABJT1AAA

Brooks Instrument SLA5850SB1AB1B2A1

 

Brooks Instrument高溫質量流量控制器5850EMH系列